1 Производство интегральных микросхем Лекция 10 Интегральные микросхемы (часть — презентация

1 Производство интегральных микросхем Лекция 10 Интегральные микросхемы (часть 2) Производство интегральных микросхем

Изображение слайда

2 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Производство интегральных микросхем Основные этапы: Изготовление монокристалла 2. Разрезка монокристалла на пластины и их подготовка 3. Формирование слоев 4. Металлизация 5. Резка пластин 6. Установка в корпус

Изображение слайда

3 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Изготовление монокристалла методом Чохральского 1-Тигель с расплавом 2. – печь 3 – затравка 4 – холодильник 5 – механизм вытягивания

Изображение слайда

4 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Разрезка монокристалла на пластины

Изображение слайда

5 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Схема формирования слоев методом фотолитографии

Изображение слайда

6 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO 2

Изображение слайда

7 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Нанесение фоторезистива

Изображение слайда

8 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Формирование рисунка

Изображение слайда

9 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Фотошаблон

Изображение слайда

10 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Установка EUV -литографии

Изображение слайда

11 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Установка EUV -литографии

Изображение слайда

12 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Травление

Изображение слайда

13 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Схема установки травления, промывки и сушки 1 – ротор 2 – днище камеры с отверстием 3 – форсунка сушки 4 – форсунка травления и отмывки 5 – платформа с пластинами 6 – съемная крышка

Изображение слайда

14 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Формирование слоев (диффузия)

Изображение слайда

15 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Рабочая камера диффузионной печи

Изображение слайда

16 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Метод ионной имплантации

Изображение слайда

17 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Метод ионной имплантации

Изображение слайда

18 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Ломка пластин на отдельные кристаллы

Изображение слайда

19 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Установка в корпус

Изображение слайда

20 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016

Изображение слайда

21 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016

Изображение слайда

22 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016 Технология «напряженный кремний»

Изображение слайда

24 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных микросхем Весна 2016

Изображение слайда